전계방출형 주사전자 현미경

전계방출형 주사전자 현미경 (Field Emission-SEM)

 

 

 

◦ 기기사양
제작회사 : Jeol (Japan)
모 델 명 : JSM-6700F
가속 전압 : 0.2~30 kV
배 율 : 20~600,000배
해상도 : 2.1 nm at 1kV
전자총 : Cold Field Emission Gun
부착 장비 : EDS Spectrometer
(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)

 

◦ 기기원리
전계방출형 전자총에서 가속된 전자가 시료의 표면에 조사될 때 발생되는 2차 전자(secondary electron) 및 X-선으로부터 시료의 미세영상을 확대, 관찰하고 시료의 구성원소를 정성, 정량분석하며 시료의 내부에 침투한 전자가 다시 시료 밖으로 나올 때 생기는 전자량(back scattered electron)의 차이에 의해 조성원소 중 질량이 큰 원소와 작은 원소의 분포(composition)을 알 수 있는 고해상도 전자현미경이다.

 

◦ 주요용도
•금속, 세라믹, 고분자, 광물시료의 미세구조 관찰 및 구성성분 분석
•생물(세포, 식물 조직, 박테리아, 바이러스 등)의 미세조직 관찰 및 촬영
•구성원소의 분포 확인(X-ray mapping)