투과전자 현미경
투과전자 현미경 (Transmission Electron Microscope)
◦ 기기사양
제작회사 : Jeol (Japan)
모 델 명 : JEM-2010
가속 전압 : 80~200kV
배 율 : 50~1,500,000배
해상도 : point image(0.23nm),lattice image(0.14nm)
전자총 : NBD, CBD mode
부착 장비 : EDS attachment
◦ 기기원리
200 kV의 가속전압에서 발생된 전자빔을 초박편으로 연마된 시료에 조사하여 투과 및 회절된 전자로부터 시료의 미세구조와 결정구조를 분석한다.
◦ 주요용도
•고분자, 금속재료의 미세구조와 회절패턴 관찰 및 촬영
•박막처리된 결정성 화합물의 결정구조, 결정결함, 회절패턴 관찰 및 구성성분 분석
•생물(세포, 박테리아, 바이러스, 단백질 등)시료의 미세조직 관찰