전자탐침 미세분석기

전자탐침 미세분석기 (Electron Probe Micro Analyzer)

 

 

◦ 기기사양
제작회사 : Shimadzu (Japan)
모 델 명 : EPMA-1600
가속 전압 : 0.5~30 kV
배 율 : 50~250,000배
해상도 : 4 nm

◦ 기기원리
가속된 전자가 시료의 표면에 조사될 때 발생되는 2차 전자(secondary electron)로부터 시료의 미세영상을 수만배의 배율까지 확대하여 관찰하며, 동시에 발생되는 X-선의 파장으로부터 시료를 구성하고 있는 원소의 종류 및 존재량을 측정한다.

◦ 주요용도
•금속, 세라믹, 고분자, 광물시료 등 각종 시료의 미세 표면성분 분석