주사탐침 현미경
주사탐침 현미경 (Scanning Probe Microscope)
◦ 기기사양
제작회사 : Seiko (Japan)
모 델 명 : SPA-400
Resolution : X-Y: 0.2㎚, Z: 0.01㎚
Scan range : 20um, 100um
주요 기능 : AFM, DFM, KFM, MFM, FFM
◦ 기기원리
시료 표면에 탐침(cantilever)를 근접시켜 주사하여 탐침과 시료간에 작용하는 물리량(원자력간, 마찰력, 자기력 등) 을 레이저 초점을 맞춘 검출기로 측정하여 미소영역의 3차원적인 표면형상 및 전자기적 물성까지 측정한다.
◦ 주요용도
•각종 재료, 천연광물의 원자단위의 3차원적인 미세표면 구조 관찰
•각종 생물시료의 액상에서의 미세 형상관찰(DNA, RNA 전이 등)
•여러 재료물질의 강유전체 특성 측정, 자성체의 자기형상 측정